MEMS传感器

Murata MEMS传感器结构坚固、对惯性及压力非常灵敏，但对其他环境变化因素和故障原因则不敏感。Murata 硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成。这些材料可在长时间、宽温度范围内保持高超群的可靠性、无与伦比的准确性、及优异的稳定性。MEMS 采用晶圆级工艺形成天然的紧密密封，降低了封装要求。微粒或化学品无法进入封闭的传感器中，确保了可靠性。根据应用的需求，加速度计、陀螺仪和压力传感器元件可设计用于特定灵敏度、测量范围和频率响应。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号，也可以追踪人手的移动这类大幅度运动的信号。