特性
- 金属密封设计可更好地防止环境湿度对产品的影响
- 基于专有元件结构设计和具有高电致伸缩因子的压电陶瓷材料
- 性能更高
- 使用寿命更长
- 与传统压电执行器相比,尺寸更小,但在低压下即可产生更高的位移和力。
- 产品阵容包括AHB、ASB和ASL系列
应用
- 质量流量控制器 (MFC)
- 沉积和蚀刻
- 检测系统
- 光刻系统
规范
- 150VDC最大驱动电压
- 电容容差:±20%
- 1MΩ或更高绝缘电阻
- +85°C或+150°C额定温度
概述
金属外壳
应用指南
发布日期: 2026-08-31
| 更新日期: 2026-09-03

