KEMET 金属外壳高性能执行器

KEMET金属外壳高性能执行器采用金属密封设计,可有效防止环境湿度侵蚀,提供更高的性能和更长的使用寿命。这些多层压电执行器包括AHB、ASB和ASL系列。这些器件基于专有元件结构设计和具有高电致伸缩系数的压电陶瓷材料。KEMET金属外壳高性能执行器体积比传统的压电执行器更小,但在低压下产生更大的位移和力。这些执行器的电容容差为±20%,最大驱动电压为150VDC,绝缘电阻为1MΩ或更高。适用应用包括控制器、检测和光刻系统,以及沉积和蚀刻过程。

特性

  • 金属密封设计可更好地防止环境湿度对产品的影响
  • 基于专有元件结构设计和具有高电致伸缩因子的压电陶瓷材料
  • 性能更高
  • 使用寿命更长
  • 与传统压电执行器相比,尺寸更小,但在低压下即可产生更高的位移和力。
  • 产品阵容包括AHB、ASB和ASL系列

应用

  • 质量流量控制器 (MFC)
  • 沉积和蚀刻
  • 检测系统
  • 光刻系统

规范

  • 150VDC最大驱动电压
  • 电容容差:±20%
  • 1MΩ或更高绝缘电阻
  • +85°C或+150°C额定温度

概述

信息图 - KEMET 金属外壳高性能执行器

金属外壳

信息图 - KEMET 金属外壳高性能执行器

应用指南

信息图 - KEMET 金属外壳高性能执行器
发布日期: 2026-08-31 | 更新日期: 2026-09-03