TE Connectivity / Measurement Specialties 85UHP压力传感器
TE Connectivity的 (TE) / MEASUREMENT SPECIALTIES 85UHP压力传感器具有一个MEMS压阻芯片。该压阻芯片集成在316L不锈钢或合金C276模块中，该模块填充有硅油，可将压力从正面的薄波纹膜片传递过来。这种介质兼容、可焊接的紧凑外形专为OEM厂商设计和制造，其半导体应用工艺持续时间超过TE标准85 ISO压力传感芯体。85UHP压力传感器提供湿润材料选项和表面粗糙度，针对超高纯度和超高真空应用进行了优化。这些器件利用TE的先进MEMS能力来实现精度和稳定性。
特性
- 绝对压力测量
- 固态可靠性
- C276或316L不锈钢湿润表面材料（可选）
- 有补偿或无补偿 - 可选
- F105兼容润湿表面（采用C276合金的型号）
应用
- 气体柜
- 质量流量控制器
- 高纯度气体输送系统
- 压力和流量控制
- 半导体工艺
规范
- 10-3Pa下的高真空稳定性
- 压力非线性可达±0.1%
- 振膜直径：13mm
- 0.1%跨度/年长期稳定性
- 工作温度范围：-40 °C至+125 °C
视频
尺寸 - 未补偿
尺寸 - 恒流补偿
尺寸 - 恒压补偿
发布日期: 2025-09-19
| 更新日期: 2026-06-02