MiCS紧凑型MOS传感器

Amphenol SGX Sensortech MiCS紧凑型MOS传感器是适用于恶劣环境的坚固MEMS传感器，具有5mm x 7mm x 1.55mm的小尺寸。这些传感器具有较短的交货时间，适用于空气质量监测、气体泄漏检测以及污染检测等应用。这些MiCS传感器的硅气体传感器结构由高精度微加工膜片（带有嵌入式加热电阻器）和位于顶部的传感层组成。这些空气质量传感器的响应时间小于10s，工作温度范围为-30ºC至85ºC。