KXTJ3三轴数字加速度计

Kionix KXTJ3三轴数字加速度计是三轴±2g、±4g、±8g或±16g硅加速度计。KXTJ3的感测组件采用Kionix专有的等离子体微加工工艺制成。加速度的感测方式是以感测组件因加速度感应动作所引起的差分电容为基础，并进一步利用共模抑制，减少由处理变动、温度和环境应力所造成的错误。KXTJ3感测组件使用玻璃料将第二个硅盖晶圆黏着到装置上，以达到晶圆级密封。感测组件封装另配有一个独立式ASIC装置，用于提供信号调节和数字通信。