Sensirion SFM6000D质量流量计
Sensirion SFM6000D质量流量计是SFC6000质量流量控制器的无阀门变体。Sensirion SFM6000D以较低的价格提供出色的性能。该仪表体积小、重量轻，非常适合用于优化便携式设备的尺寸和重量。这款高集成度的仪表采用CMOSens® MEMS技术，具有出色的可重复性、准确性、控制范围和速度。
特性
- 性价比高，精度/可重复性比率为2%/0.2%
- 适用于传统意义上使用质量流控制器并不划算的应用
- 宽控制范围（0.2%-100%满量程）
- 通过可更换的配件为多种气体进行校准
- 数字RS485接口
- 结构紧凑、重量轻
- 仅需要少量电子组件即可实现集成设计
- 供应链稳定，供应安全性提高
- 现场无需进行漂移校准和重新校准
- EK-F5x评估套件可快速轻松完成测试
应用
- 半导体
- 分析仪器
- 医疗设备
- 工业自动化
视频
其他资源
- Application Note SFC6000/SFM6000 Mass Flow Controller/Meter
- Preliminary Datasheet SFC6000D Mass Flow Controller and SFM6000D Flow Meter
- Quick Start Guide for Mass Flow Controller Kit
- Calibration Certification – Gas Flow Sensors
- Engineering Guidelines for Mass Flow Meters
- REACH- and RoHS - Declaration
- Gas Flow Sensors Experts in Flow Sensing
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发布日期: 2023-03-06
| 更新日期: 2023-03-21