TE Connectivity / Measurement Specialties 85UHP压力传感器
TE Connectivity(TE) 的Measurement Specialties 85UHP 压力传感器配备一个MEMS压阻芯片，该芯片集成在涂有硅油的316L不锈钢或合金C276模块中，可从正面的薄波纹膜片传输压力。这款介质兼容、可焊接的紧凑型型材专为OEM设计和制造，适用于比TE标准 85 ISO胶囊更长的半导体应用工艺持续时间。
TE Connectivity (TE) Measurement Specialties 85UHP压力传感器提供经过优化的接液材料选项与表面粗糙度，专用于超高纯度与超高真空工况。该系列器件利用TE先进的MEMS能力，可实现无与伦比的精度与稳定性。
特性
- 高真空稳定性
- 符合F105标准的接触表面（合金C276变速）
- -40 °C 到 + +125 °C 工作温度
- 压力非线性可达±0.1%
- 固态可靠性
应用
- 气体柜
- 质量流量控制器
- 高纯度气体输送系统
- 压力和流量控制
- 半导体工艺
规范
- C276或316L SS湿润表面材料 - 可选
- 有补偿或无补偿 - 可选
- 10-3Pa压力下的高真空稳定性
- 0.1%跨度/年长期稳定性
- 绝对压力测量
- 13mm膜片直径
尺寸 - 未补偿
尺寸 - 恒流补偿
尺寸 - 恒压补偿
发布日期: 2025-09-19
| 更新日期: 2025-11-12