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Sensirion SFC5500/SFM5500质量流控制器/流量计

Sensirion SFC5500/SFM5500质量流控制器/流量计是一款基于CMOSens®的多气体数字测量设备，通过基于热传递的量热原理测量气体质量流量。该控制器/流量计具有出色的速度、精度和可重复性，系统成本低。在单个硅芯片上集成了热绝缘膜上的加热器元件和上下游的两个热电堆。在气体流动的情况下，上下游的温度分布受到干扰。然后，测量这种不对称情况。该设备采用较大通道设计，不受颗粒、堵塞和潮湿气体影响。由于采用紧凑型单芯片设计和安装在金属部件之间，基于CMOSens®的传感器还具有很强的抗电磁干扰(EMC)能力。

通过放大、模数转换、数字线性化以及温度补偿与传感器速度匹配，每毫秒均可提供完全补偿的流量测量值。SFC5500质量流量控制器具有零漂移性能，可以不考虑环境温度和压力变化，控制真正质量流量。两款温度传感器采用特殊配置，具有片上温度补偿，可最大限度地减少噪声源，因此在较宽的动态范围内具有出色的重复性和精度。

特性

  • 出色的精度和重复性（分别为设定值的0.8%/0.1%）
  • 非常宽的控制范围（大于1000:1）
  • G¼〃法兰兼容多种连接器（例如世伟洛克、乐可利、费斯托）
  • 针对各种气体（空气、N2、O2、H2、He、CH4、N2O、Ar、CO2）进行了校准
  • 超快稳定时间（<100ms）
  • 数字接口，带温度补偿输出
  • NIST可追溯校准
  • 平均故障间隔时间 (MTBF)：169年
  • 无需在现场进行任何漂移校准，也无需重新校准

规范

  • 设置时间：<100ms（典型值）
  • 1000Hz测量频率
  • 控制范围：大于1000:1
  • 预热时间：1s
  • 环境工作温度范围：0°C至+50°C（+32°F至+122°F）
  • 最大输入压力：10bar/145psig
  • 最大差分压力：5bar/73psig

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发布日期: 2021-05-03 | 更新日期: 2024-06-18