Murata Electronics MEMS传感器
Murata MEMS传感器结构坚固、对惯性及压力非常灵敏，但对其他环境变化因素和故障原因则不敏感。Murata 硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成。这些材料可在长时间、宽温度范围内保持高超群的可靠性、无与伦比的准确性、及优异的稳定性。MEMS 采用晶圆级工艺形成天然的紧密密封，降低了封装要求。微粒或化学品无法进入封闭的传感器中，确保了可靠性。根据应用的需求，加速度计、陀螺仪和压力传感器元件可设计用于特定灵敏度、测量范围和频率响应。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号，也可以追踪人手的移动这类大幅度运动的信号。
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数据手册
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- SCA 2100-D02
- SCA 2110-D04
- SCA 2120-D06
- SCA 3060-D01
- SCA 3100-D04
- SCA 3100-D07
- SCA 610-E23H1A
- SCA 610-E28H1A
- SCA 620-EF1V1B
- SCA 620-EF8H1A
- SCA 630-EDCV1B
- SCA720
- SCA 820-D04
- SCA 830-D06
- SCA 830-D07
- SCB 10H-B012FB
- SCC 1300-D02
- SCC 1300-D04
- SCG 10x-G001BI
- SCG10Z-G001CB/C
- SCG14S-G001EE/F
- SCR 1100-D02
- SCR 1100-D04
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发布日期: 2012-10-04
| 更新日期: 2025-11-12